Рефераты
Алюминий бывает разным
Тонкие алюминиевые плёнки используются во многих ситуациях, и для разных применений нужны разные их свойства, например шероховатость, сопротивление, толщина. Для некоторых применений желательно иметь возможно более гладкие плёнки, для других существенна температура сверхпроводящего перехода. Свойства плёнок зависят от состава и структуры, в частности, от размера кристаллов и их ориентации (текстуры). Многие характеристики определяются технологией нанесения (например, термическое это напыление или магнетронное распыление), режимом напыления (скорости напыления, вакуума), внесением при напылении примесей.
Исследователи из Института радиотехники и электроники им. В . А. Котельникова РАН, Физико-технологического института им. К. А. Валиева РАН, Высшей школы экономики и Южно-Российского государственного политехнического университета им. М. И. Платова (г. Новочеркасск) изучили параметры плёнок алюминия толщиной 150 нм, полученных с помощью двух технологий напыления при разной температуре подложки. Во-первых, плёнок, изготовленных методом магнетронного распыления на подложки Si(111) при 300 K, во-вторых, полученных термическим испарением на подложки Si(111) и оксидированные кремниевые подложки SiO2/Si(001) при 77 и 300 K. «Магнетронные» плёнки оказались крупнозернистыми (160—280 нм) и шероховатыми (4,1—5,0 нм). Ситуация для «термических» плёнок зависела от температуры подложки при напылении. Если эта температура была 300 К, размер зерна оказывался 20—54 нм, шероховатость 1,3—1,5 нм, при 77 К размер зерна составлял 15—45 нм, шероховатость 1,7—2,6 нм. Температура сверхпроводящего перехода для «магнетронных» плёнок была 1,2 К, для «термических» — 2,3 К. Сопротивление мелкозернистых плёнок оказалось в несколько раз больше, чем у крупнозернистых.
Тарасов М. А. и др. Морфология и электрические параметры тонких алюминиевых плёнок, осаждаемых на подложки при температурах от 77 до 800 K. Письма в ЖТФ, 2025, вып. 4. с. 42.